大家好，今天農農來為大家解答以上問題。離子束刻蝕技術，什么叫反應離子束刻蝕很多人還不知道，現在讓我們一起來看看吧！
1、離子束刻蝕 離子束刻蝕以離子束為刻飾手段達到刻飾目的的技術，其分辨率限制于粒子進入基底以及離子能量耗盡過程的路徑范圍。
2、離子束最小直徑約10nm，離子束刻蝕的結構最小可能不會小于10nm。
3、目前聚焦離子束刻蝕的束斑可達100nm以下，最少的達到10nm，獲得最小線寬12nm的加工結果。
4、相比電子與固體相互作用，離子在固體中的散射效應較小，并能以較快的直寫速度進行小于50nm的刻飾，故而聚焦離子束刻蝕是納米加工的一種理想方法。
5、此外聚焦離子束技術的另一優點是在計算機控制下的無掩膜注入，甚至無顯影刻蝕，直接制造各種納米器件結構。
6、但是，在離子束加工過程中，損傷問題比較突出，且離子束加工精度還不容易控制，控制精度也不夠高。
本文到此結束，希望對大家有所幫助。