硅片清洗的操作要點 硅片清洗的工藝流程

小伙伴們好，最近小評發現大家對于硅片清洗如何，硅片的清洗方法這個問題都頗為感興趣的，今天整理了一些相關信息一起往下看看吧。

1、首先去除硅片表面的有機污染物，因為有機物會覆蓋硅片表面的一部分，導致氧化膜和相關污染物難以去除；

2、然后溶解氧化膜，因為氧化層是“污染陷阱”，也會引入外延缺陷；最后，顆粒、金屬和其他污染物被去除，硅晶片的表面被鈍化。

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