小伙伴們好,最近小評發現大家對于光刻機是干什么用的,為何對中國如此重要這個問題都頗為感興趣的,今天整理了一些相關信息一起往下看看吧。
1、它是光刻機中芯片制造的核心設備之一,按照用途可以分為幾種:用于芯片生產的光刻機;有包裝用的光刻機;在LED制造領域也有投影掩模對準器。
2、用于生產芯片的光刻機是中國半導體設備制造最大的短板。目前國內晶圓廠需要的高端光刻機完全依賴進口。
3、掩模光刻機,也稱為掩模光刻機、曝光系統、光刻系統等。常用的掩模光刻機是掩模對準光刻,所以稱為掩模對準系統。一般的光刻工藝要經歷硅片表面清洗干燥、底涂、旋涂光刻膠、軟烤、對準曝光、后烤、顯影、硬烤、刻蝕等過程。光刻法是利用光來制作圖案(工藝);平整硅晶片表面,然后將掩模上的圖案轉移到光刻膠上,從而將器件或電路結構臨時“復制”到硅晶片上的工藝。
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