光刻法原理 光刻技術的原理及操作過程

大家好，小評來為大家解答以上的問題。光刻法，關于光刻法的介紹很多人還不知道，現在讓我們一起來看看吧！

1、分束器為達到干涉的效果，相干光必須在匯聚前被分束成兩個及以上數量的光束。

2、利用DLIP，不同的結構能夠在數秒內直接在基底上被制成，得到大面積上的周期性陣列。

3、從而，若要繪制任意圖樣的紋路，還需要采用其他光刻蝕技術。

本文到此結束，希望對大家有所幫助。