随着人们对各种表面新奇特性研究的深入,各种新型表面结构不断被提出.这些新型的结构,特别是复杂的多级次表面结构对微加工技术在成本、工艺、批量生产、精准设计和可控加工等方面提出了许多新的挑战,目前的常规微纳加工方法已经难以满足复杂结构的加工需要.近十多年来,新
曝光光刻是图形形成的核心工艺过程,可分为正胶工艺和负胶工艺(如图3),采用相同掩模板制作时,二者可获得互补的图形结构.另外,按照不同工作距离可分为接近式曝光、近贴式曝光(接触曝光)和投射式光学曝光;按照曝光系统的工作光源又可分为紫外线曝光、X射线与及紫外线
7, 13743).该工作得到了国家重点研发计划纳米科技重点专项以及中科院战略性先导科技专项、国家基金委和欧盟项目的支持.
\"微纳加工\"
3D打印技术具有快速成型、可精确定位、可构筑三维结构等特点,在实现以功能高分子材料为基础构筑精密器件方面具有较大的优势,已经被尝试用于能源器件、微制造、航空航天、医疗卫生、微机电、组织工程等前沿领域.目前,3D打印技术在精密制造业(微纳器件加工)中的应用仍
一种近似完美的加工方式,团队现拥有完整的飞秒激光微纳加工平台,包括Amlitude systemes飞秒激光器、扫描振镜、精密位移平台、PLD等设备.目前团队主要研究方向有:锂电池电极材料的超短脉冲微细加工机理、超短脉冲激光与硬脆材料(蓝宝石)相互作用的损
微纳加工广泛应用于物理、化学、材料、电子、机械、生物等各种学科.本课程的目的是使学生掌握各种微纳加工的基本原理,为未来的研究打下很好的器件制备基础.本课程的特点是制作较多的动画,让同学理解工艺过程不再是一件难事.同时本课程将会针对各个工艺过程中的设备进行拍
膜厚测量系统 半导体器件分析仪 探针台 聚合物光刻系统 临界点干燥仪 台阶仪 椭偏仪 太阳能电池测试站 光致发光和电致发光测试站 光学显微镜 原子力显微镜
进行了理论模拟,所获结果与实验吻合很好.这一重要进展为我们提供了一种新的加工手段,尤其适合表面波形结构的制备.这一成果已在Adv. Mater.上在线发表(DIO:10.1002/adma.201200540 ).作者们感谢国家基金委、科技部、和欧盟项目对
上图是科研中双光子激光直写技术实际应用的一个例子,科学家使用该技术制作了三维的光子晶体.光子晶体(Photonic Crystal)是一种人工微纳结构,它由不同折射率的介质周期性排列而成,具有特殊的光子带隙,因而拥有很多奇异的光学性质.这种微纳周期结构加工
表1 亚微米级结构处理工艺方法与加工精度
作者:唐天同 出版社:电子工业出版社 出版时间:2010-06
通过光刻技术制作出的微纳结构需进一步通过刻蚀或者镀膜,才可获得所需的结构或元件. 刻蚀技术(etching technique),是按照掩模图形对衬底表面或表面覆盖薄膜进行选择性腐蚀或剥离的技术,可分为湿法刻蚀和干法刻蚀.湿法刻蚀最普遍、也是设备成本最
4 超短脉冲激光微纳加工市场展望 相对于传统的激光打标、激光焊接、激光切割等,超短脉冲激光精密微细加工还属于新兴的市场.对超短脉冲激光技术未来的市场,美国Raydiance公司总裁Scott Davison先生预测在10年内,超短脉冲激光技术将拥有超过
利用上述实验结果,实验采用开孔与针孔直径为4mm(单脉冲能量为90J)两种情况分别对金膜和不锈钢板进行打孔加工,得到的图像如图6~10所示. 3 结束语 本文从飞秒激光加工工艺研究出发,分析了针孔掩模加工技术对聚焦点处飞秒激光空间传输特性的影响.发
网友：孙上:越发觉得他们可爱，也更坚定了要把好东西都和他俩分享的想法。
网友：刘倘悉:相比起来也和自己差不多大。
网友：杨验:明显不像是酆都的鬼差。
网友：顾屈洛: 赵高边说边留意着阿婉的神情，见她有些心动了，他又更进一步鼓动:
网友：杨瑛扮:心中却是暗自打算，这么干等不是办法，晚上有必要夜探一趟陈府。
网友：许炷:却不是我该待的地方，走吧，送我离开这。
网友：邵型阵:却让她的心也仿佛跟着绞痛起来。
网友：何七高:“他一旦施展拼命手段，我都不是对手，你要除掉他？”